作者：施朝霞,李如春 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》2014年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG2014040050 DOC编号：DOCBDTG2014040059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于标准CMOS工艺，可实现单结深光电二极管传感器(p+/n-well、n-well/p-sub和n+/p-sub)和双结深光电二极管传感器(p+/n-well/p-sub)。建立了双结深光电二极管传感器的光电响应数学模型，仿真了四种结构的光敏响应。采用上华0.5μm CMOS工艺实现了p+/nwell和p+/n-well/p-sub两种结构，传感面积为100μm&#215；100μm。p+/n-well型结构在400nm波长，60lux光强下光电流为1.55nA，暗电流为13pA，p+/n-well/p-sub型结构在同等条件下光电流为2.15nA，暗电流为11pA。测试表明，设计的双结深光电传感器具有更高的灵敏度，可用于微弱的生物荧光信号检测。

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