作者：谢胜平 单位：黑龙江省科普事业中心 出版：《科学技术创新》2014年第07期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHLKX2014070520 DOC编号：DOCHLKX2014070529 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS即微型机械电子系统，集微电子学，纳米技术，力学和微细加工技术，是现代多学科融合的成果。它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、尤其具有更高的可靠性，同时，其微小的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

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