作者:郑庭丽,赵卫军,梁庭,洪应平,任重,李赛男,熊继军 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2014年第10期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2014100060 DOC编号:DOCCGJS2014100069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 无线无源高温压力传感器在高温、高压等恶劣环境中应用日益广泛,其耐高温性能已成为衡量传感器的一项最基本且重要的指标。利用低温共烧陶瓷LTCC(Low Temperature Co-Fired Ceramic)技术,分别设计和制作了陶瓷基片上电感及电容器件,并进行高温特性测试,通过讨论和分析确定了造成电感和电容随温度变化的原因。测试结果表明:在100℃~500℃温度范围内,电感L基本保持不变,等效串联电阻R增大了2.7倍,电容C增大了5.3%,从而LC谐振传感器的品质因数Q减小了72.8%。该测试及分析对高温环境下基于LC谐振式压力传感器的优化设计具有重要的指导意义。

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