作者：李春枝,陈颖,农绍宁,刘斌 单位：中国工程物理研究院电子工程研究所 出版：《太赫兹科学与电子信息学报》2014年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXXYD2014050330 DOC编号：DOCXXYD2014050339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为测量振动环境下层间结构内部微小间隙的相对变化，设计了一种用于狭小空间内的平直光栅传感器。根据指定应用条件研究设计光栅传感基片的封装方案及其主要技术指标，并制作出平直光栅传感器。该传感器测量范围0.5 mm~0.8 mm，标定指标良好。通过试验应用证明，采用光栅传感器可实现振动环境下微小间隙的直接测量，且不用破坏原结构，与传统方法相比，数据真实可信，满足测量精确度μm量级要求。

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