作者:邬琦,林靖,杨江涛 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2014年第09期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2014090240 DOC编号:DOCCGQJ2014090249 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS加速度传感器在引信中的应用研究》PDF+DOC2018年第05期 徐磊,房立清,霍瑞坤,郭德卿 《高g_n值悬臂梁式硅微加速度传感器的结构设计》PDF+DOC2000年第06期 席占稳,赖百坛 《结构新颖的多维加速度传感器》PDF+DOC1994年第03期 卢冶,孙宝元,寿波 《基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计》PDF+DOC2003年第08期 程未,曾晓鹭,卞剑涛,冯勇建 《高g_n值MEMS加速度传感器封装的研究》PDF+DOC2002年第06期 黄卫东,彩霞,徐步陆,罗乐,程兆年 《不等高梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器》PDF+DOC2011年第08期 许高斌,朱华铭,陈兴 《MEMS高g加速度传感器固有频率的优化及验证》PDF+DOC2010年第03期 李平,石云波,朱正强,杜康,刘俊 《基于MEMS技术梁膜结合压阻式加速度计的设计》PDF+DOC2009年第S1期 张玲,赵玉龙,蒋庄德,田边 《MEMS高G值加速度传感器设计》PDF+DOC2008年第16期 石云波,祁晓瑾,刘俊,孟美玉 《压阻式高固有频率Z轴加速度敏感结构》PDF+DOC2015年第09期 揣荣岩,代全,王健,梁峭,衣畅
  • 高gn值加速度传感器在侵彻武器等领域受到广泛应用,对量程、灵敏度、固有频率等指标也提出了更高的要求。设计了一种MEMS高gn值加速度传感器,在传统梁—岛结构加速度传感器的基础上进行了改进,采用主微梁互补结构在提高固有频率、量程的同时,提高了灵敏度。在梁的末端提出了新式的延伸梁结构设计,大大减小了集中应力的现象,提高了结构的抗过载能力。利用ANSYS有限元分析软件,对该加速度传感器进行了静态、模态和瞬态分析。经仿真验证,该MEMS高gn值加速度传感器的各项指标均满足要求,具有明显的优越性。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。