作者：于洪峰,王伟,王世宁,史鑫,曹永海,桂永雷 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2014年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2014090210 DOC编号：DOCCGQJ2014090219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计了一种基于硅MEMS敏感结构的光学式声传感器，其光学调制原理采用强度调制型，微敏感结构采用具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片。对光纤与微敏感结构耦合技术进行实验研究，优化光学参数，并制作传感器样品。经实验测试，灵敏度达80mV/Pa。

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