作者: 单位:广东省对外科技交流中心 出版:《电脑与电信》2014年第06期 页数:1页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGZDN2014060290 DOC编号:DOCGZDN2014060299 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《英国剑桥大学项目2014-LI-JQ-004基于微机械系统(MEMS)的体声波(BAW)传感器》PDF+DOC2014年第05期 《新型便携式薄膜体声波谐振气体传感器的研制与应用》PDF+DOC2016年第05期 唐宁,常烨,刘晶,屈贺幂,张代化,庞慰,段学欣 《基于薄膜体声波谐振器的免疫球蛋白传感器制备》PDF+DOC2015年第08期 杨翰林,陈达,刘一剑,沈勇,张亚非 《一种集成微流道的薄膜体声波液体浓度传感器》PDF+DOC2017年第06期 刘梓枫,梁骥,张孟伦 《一种提高薄膜体声波谐振器质量分辨率的主动控制方法》PDF+DOC2011年第06期 贺学锋,刘兴,印显方,温志渝,陈可万 《基于声波测试碰撞传感器可靠性研究分析》PDF+DOC2019年第11期 贾维彬,闫琛,冀晓宇,徐文渊 《密封空气型FBAR温度传感器》PDF+DOC2012年第05期 丁扣宝,刘世洁,何兴理 《新型三轴MEMS热对流加速度传感器的研究》PDF+DOC2008年第04期 吕树海,杨拥军,徐淑静,徐爱东,徐永青 《一种MEMS微流量传感器的设计与分析》PDF+DOC2008年第02期 刘亚欣,陈立国,孙立宁 《BAW气流信息检测专用信号处理技术研究》PDF+DOC2013年第06期 杨靖,马晋毅,方鑫,王露,帅师师,王登攀,吴志军
  • (2014-127-英国-63)该系统显著优于石英晶体微天平(QCM)的特性,具有紧凑的尺寸、电子相容性、更低的功耗、更低的成本和更高的可靠性。然而,其广泛应用仍然受限于对温度的依赖性。最近剑桥大学研究人员已经开发出一种新颖的薄膜体声波谐振器(FBAR)装置,该装置通过使温度和质量负荷在一个单一设备同时进行测量,而不增加其尺寸或复杂性,克服对温度的依赖。通过使用一种新颖的多层器件结构和电

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