《英国剑桥大学项目2014-LI-JQ-004基于微机械系统(MEMS)的体声波(BAW)传感器》PDF+DOC
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单位:广东省对外科技交流中心
出版:《电脑与电信》2014年第05期
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PDF编号:PDFGZDN2014050250
DOC编号:DOCGZDN2014050259
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《新型便携式薄膜体声波谐振气体传感器的研制与应用》PDF+DOC2016年第05期 唐宁,常烨,刘晶,屈贺幂,张代化,庞慰,段学欣
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《一种提高薄膜体声波谐振器质量分辨率的主动控制方法》PDF+DOC2011年第06期 贺学锋,刘兴,印显方,温志渝,陈可万
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(2014-127-英国-63)该系统显著优于石英晶体微天平(QCM)的特性,具有紧凑的尺寸、电子相容性、更低的功耗、更低的成本和更高的可靠性。然而,其广泛应用仍然受限于对温度的依赖性。最近剑桥大学研究人员已经开发出一种新颖的薄膜体声波谐振器(FBAR)装置,该装置通过使温度和质量负荷在一个单一设备同时进行测量,而不增加其尺寸或复杂性,克服对温度的依赖。通过使用一种新颖的多层器件结构和电
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