《碳纳米管气敏传感器微电极的制备与检测》PDF+DOC
作者:冉祥涛,王成响,王志
单位:山东省科学院
出版:《山东科学》2014年第01期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFSDKX2014010050
DOC编号:DOCSDKX2014010059
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基于参数优化设计了一种电场分布合理的叉指微电极结构,利用光刻技术在ITO表面成功制备了最小指间距约为4μm的叉指微电极,为微电极制备提供了一种可靠、低成本的制备方法。将这种微电极用于碳纳米管气敏传感器中,并利用氨气对其气敏特性进行测试,结果表明,纳米材料修饰的微电极气敏传感性能得到了明显提高。
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