作者：李晓博,赵玉龙,程荣俊 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2014年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2014020050 DOC编号：DOCYBJS2014020059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为满足高冲击时加速度测量的要求，研制了一种基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器。内部敏感元件采用对称的十字梁与平膜结合结构，可以有效地降低偏轴影响及横向灵敏度。使用ANSYS软件对芯片结构进行静态分析与模态分析，结果表明其在满量程情况下能安全工作。利用加速度冲击台进行测试，结果表明该加速度传感器可以准确地测量加速度信号，其灵敏度达到1.08 V/g，线性度达到1.163%。该传感器具有体积小，线性度好，精度高的优点。

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