作者：李超,谭秋林,刘文怡 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2014年第11期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2014110260 DOC编号：DOCCGQJ2014110269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出一种新型的设有环形结构微热板的硅基ZnO微气体传感器。利用ANSYS软件，将环形电极结构与传统的蛇形结构进行温度分布的模拟仿真，发现该结构能供给传感器更高的温度且中心温度分布均匀，进而解决了现有传感器功耗大的缺点。通过对RF磁控溅射ZnO薄膜的工艺摸索，得出了适宜作气敏薄膜的制备参数。该传感器在250℃下对(200~1000)&#215；10-6CH4气体有很好的响应。

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