作者： 单位：中国半导体行业协会 出版：《中国集成电路》2014年第05期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCDI2014050030 DOC编号：DOCJCDI2014050039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 上海华虹宏力半导体制造有限公司(以下简称“华虹宏力”)和上海矽睿科技有限公司(以下简称“矽睿科技”)近日联合宣布，双方将深化合作，联合开发和生产新一代MEMS传感器。此举将进一步巩固双方的战略合作伙伴关系，并将进一步增强双方在MEMS领域的领先优势。双方合作生产的第二款产品QMA5981是拥有自主知识产权的加速度传感器，已于近日成功上市。该款产品是矽睿科技基于华虹宏力8英寸MEMS工艺平台，自主研发的第一款三轴单芯片加速度传

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