作者：吴展翔,刘文,卢小荣 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2014年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2014010030 DOC编号：DOCYDSG2014010039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《声表面波压力传感器的仿真与设计》PDF+DOC2015年第02期 向龙,秦廷辉,蒋平英,谢晓,彭锦婕,钱俊江 《基于氮化铝单晶的声表面波压力传感器的特性研究》PDF+DOC2019年第06期 潘沛锋 《基于声表面波技术的变电站户外设备温度在线监测系统》PDF+DOC2018年第04期 纪涛,胡建学,周立勇,高海芳,夏前亮,朱岳洲 《声表面波温度传感器的研究》PDF+DOC1996年第02期 徐恭勤,朱文章,阎南生,陈金太 《声表面波温度传感器研究》PDF+DOC2001年第01期 胡兰芳 《声表面波原理在高压电缆测温中的应用》PDF+DOC2016年第03期 程国开,汪从敏,叶甍 《声表面波传感器原理及应用》PDF+DOC1998年第10期 苟永明 《一种新型声表面波温度传感器的研究》PDF+DOC1997年第11期 李源,冯冠平,丁天怀 《高灵敏度光纤光栅温度传感器的研究》PDF+DOC2006年第08期 衣红钢,巩宪锋,王长松 《声表面波微力传感器的研究》PDF+DOC2014年第07期 武少南,卢文科

    • 利用有限元软件COMSOL对声表面波温度传感器进行仿真。声表面波温度传感器基底材料为YX-切石英单晶，并在石英上镀ZnO薄膜，叉指换能器和反射栅采用铝电极。通过仿真研究了叉指换能器的高度、金属化率变化对声表面波温度传感器性能的影响，并根据仿真结果设计和制作了一种镀ZnO薄膜的SAW温度传感器。测试结果表明，制作的传感器灵敏度较高(8.8kHz/℃)，误差小，具备良好的温度-频率特性。

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