《基于MEMS传感器的水汽测量系统》PDF+DOC
作者:刘清惓,高翔,陈传寅,谢钟镭
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2014年第06期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2014060260
DOC编号:DOCCGJS2014060269
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于MEMS和数字信号处理器的露点传感器设计》PDF+DOC2013年第03期 谢军,刘清惓
《单片机在同位素法露点传感器中的应用》PDF+DOC2003年第01期 张黎丽,莫长涛,谌莉
《石油勘测MEMS传感器数据采集器研究》PDF+DOC 柴小飞,蓝永宗
《微型电容式压力传感器中的温度效应》PDF+DOC2006年第05期 黄哲琳,冯勇建
《基于MEMS传感器的惯导系统预处理和姿态解算》PDF+DOC2019年第11期 刘维,王明杭,朱志宇
《一种可长期维持低露点测试室的方法及其应用》PDF+DOC2006年第S1期 姬洪,金懋昌,曹佩韦,张池军
《基于ADIS16355的汽车驾驶操作信号采集系统》PDF+DOC 赵玲,李文靖,李长安,付少波,李庆辉
《基于数据融合的倾斜光纤光栅温度测量》PDF+DOC2011年第06期 付华,蔡玲
《基于二次曲面拟合的二维传感器数据处理技术研究》PDF+DOC2009年第07期 蔡爱杰,司良友,夏继秋,蔡英
《基于MEMS传感器的三分量检波器定向方法》PDF+DOC2014年第10期 沈统,庹先国,李怀良,刘勇,阳林锋
提出一种基于MEMS技术的电容式传感器,结合ARM Cortex-M3嵌入式处理器搭建电容式水汽测量系统的测控系统,以实现大气环境中的高精度湿度测量。为提高测量精度和分辨率,利用24 bitΣ-Δ数模转换器测量露点和温度。通过PID控制算法对半导体制冷器进行控制,使贴有MEMS露点传感器和温度传感器的制冷器冷端表面温度降低。当MEMS露点传感器表面温度低于露点时,其表面会产生露珠,引起MEMS电容增大。MEMS露点传感器电容值可以通过24 bitΣ-Δ电容数字转换器测量。通过Goff-Gratch方程和露点湿度转换关系,可计算出到大气湿度。测量结果表明,该系统的露点测量精度可达约±;0.2℃。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。