《光纤法布里-珀罗微压传感器》PDF+DOC
作者：朱佳利,王鸣,蔡东艳,贾晟
单位：中国光学学会
出版：《光学学报》2014年第04期
页数：4页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFGXXB2014040440
DOC编号：DOCGXXB2014040449
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设计并研制了一种新型光纤法布里-珀罗压力传感器，通过光刻、硅片刻蚀、阳极键合等微机电系统技术制作而成，适合恶劣环境下、狭小空间内的微压环境压力测量。详细阐述了传感器的结构设计和制作方式。该设计巧妙地利用了光纤法兰盘，保证了光纤端面与敏感膜的平行，从而形成高质量的法布里-珀罗干涉腔。该结构也有利于初始腔长的稳定，减小了传感器误差。建立了实验解调系统，对其压力、温度等特性进行了详细的测试。实验结果表明，在0~0.1MPa的压力范围内，传感器线性度好，重复性高，灵敏度达到了61.6μm/MPa。
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