作者：童筱钧,王心语 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2014年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2014020090 DOC编号：DOCBDTQ2014020099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为解决目前常用电容式湿度传感器存在的误差较大和一致性较差的问题，提出了采用常压化学气相淀积(APCVD)法制备的多孔SiO2膜作为吸湿材料的乐甫波声表面波(SAW)传感器感知湿度。基片采用42.75&#176；旋转Y轴切割石英材料，乐甫波传播方向为[0&#176；，132.75&#176；，90&#176；]，SiO2湿敏膜厚度为0.5μm。实验结果表明：此湿度传感器灵敏度约为62 kHz/RH%，在相对湿度为50%时，最大湿滞约3%。测得的湿敏特性和迟滞特性表明，乐甫波声表面波湿度传感器线性度较好，实验证实该湿度传感器具有很好的应用前景。

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