作者：沈文清,胡芳菲 单位：西安电子科技大学 出版：《电子科技》2014年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZKK2014090380 DOC编号：DOCDZKK2014090389 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计一款机械噪声较小、灵敏度较高的双轴电容式加速度传感器，其具有4个水平检测单元，X、Y轴向的检测单元各有两组，且水平对称，有效地消除了轴间的交叉干扰；结构中的保护限位装置避免了结构因加速度值过大而断裂失效和结构测量的不准确。该加速度敏感质量块的大小为3 250μm&#215；3 250μm&#215；5μm；栅型条的尺寸大小为1 575μm&#215；35μm&#215；5μm；间距为35μm，利用Ansys软件对加速度传感器进行性能仿真，得出加速度传感器X和Y轴向的静态灵敏度为0.253μm/g；电容灵敏度为1.533 pF/g；X和Y轴向的谐振频率为949 Hz，阻尼比为0.83。

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