作者：冯佳,李佩玥,尹志生,隋永新,杨怀江 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2014年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2014070180 DOC编号：DOCCGQJ2014070189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 根据单极板微位移电容传感器结构优化设计的问题，提出了一种基于纵横推进法的电磁场仿真参数化建模方法。在建立合理的单极板电容传感器电磁仿真参数模型基础上，首先通过仿真实验选择保护环和绝缘层缺口的最优值。然后依据仿真得到的最优值，选择结构与最优值接近的电容传感器产品对比，取得了较好的研究结果，电容仿真值与实际测量值误差小于0.3%。最后对电容传感器极板倾斜对测量结果的影响进行了研究，极板倾斜2&#176；时测量误差为1.6%。电容传感器结构优化结果满足实际工程要求。

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