作者：李光伟,董林玺 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2014年第07期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2014070230 DOC编号：DOCCGQJ2014070239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了实现对物体运动位移的检测，设计了一种以国产高精度MEMS电容式加速度传感器MSCA3002为核心，24位高精度A/D转换器ADS1255，高性能ARM处理器LM3S2B93为主控制器的位移检测系统，并详细给出该系统的硬件电路及其软件算法设计。系统将传感器检测到的物体运动的加速度，经过积分算法转换为物体运动位移。实验结果表明：系统采样精度高、速度快、误差小，A/D转换器对加速度信号的检测精度能达到0.4%，积分后对位移的测量精度能控制在3%左右，很好地实现了对运动位移的检测。

    📙 相关资料

    1. 《运动轨迹检测系统研究——基于MEMS加速度传感器技术》PDF+DOC 为了实现对物体运动轨迹的精确检测，本文设计了以高精度低功耗MEMS加速度传感器ADXL345为核心的运动轨迹检测系统。传感器采集数据之后，经过信号调理、A/D转换将采集到的加速度数据传输到控制器进行处理，经过积分算法转换为物体运动位移。对系统的使用效果进行验证，结果表明：设计的运动轨迹检测系统的测量......
    2. 《基于MEMS技术的水平轴光纤加速度传感器》PDF+DOC 提出了一种基于微机电系统(MEMS)技术的水平轴光纤加速度传感器，并与Z轴光纤加速度传感器在同一MEMS芯片上制造，形成单一方向出纤的三轴光纤加速度传感器。分析了器件工作原理和器件结构参数与其性能的关系，利用MEMS技术成功制作出了加速度传感器样品。初步测试结果表明，本光纤加速度传感器灵敏度为164......
    3. 《MEMS加速度传感器的数据采集和预处理》PDF+DOC 设计了一种基于微机电系统(MEMS)加速度传感器的数据采集单元，用微处理器通过内部集成电路(I2C)总线采集加速度传感器ADXL345的数据，对数据进行低通滤波、零偏误差修正以及去除重力加速度等，从而得到载体的运动加速度，并对加速度进行二次积分得到位移，在100 m范围内实测多次，仿真计算位移误差在......
    4. 《MEMS固态引信硅微结构的力学分析与设计》PDF+DOC 讨论了微机电固态引信核心子系统 (即微传感器系统 )的设计和分析 ，并针对典型的弹性质量系统 ，建立了其过载变形的模型 ，给出了用于计算位移加速度关系系数的方法...
    5. 《基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器》PDF+DOC 为满足高冲击时加速度测量的要求，研制了一种基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器。内部敏感元件采用对称的十字梁与平膜结合结构，可以有效地降低偏轴影响及横向灵敏度。使用ANSYS软件对芯片结构进行静态分析与模态分析，结果表明其在满量程情况下能安全工作。利用加速度冲击台进行测试，结果表明该加速度传感器......
    6. 《基于油田示功仪的加速度信号处理方法》PDF+DOC 本文给出了一种将油田示功仪中测量到的加速度信号进行处理得到位移数据的方法。提出了利用FIR数字滤波器，对平滑滤波后的加速度进行处理，实现了对加速度传感器干扰振动信号的滤除，再利用加速度双重积分算法得到位移数据的处理方法。实验结果表明，使用平滑滤波、FIR数字滤波基础上的加速度双重积分算法得到位移数据......
    7. 《基于无线MEMS传感器的晶圆传输振动监测系统设计》PDF+DOC 如何对半导体工厂运行中的晶圆传输设备进行监测也成为半导体厂商面临的主要问题之一。针对现有晶圆传输的振动监测问题，结合MEMS传感器和无线传输特点，提出了基于无线MEMS加速度传感器的晶圆传输过程的振动监测系统。系统以MEMS电容式加速度传感器为测试载体采集振动数据，通过蓝牙无线传感器网络将采集到的数......
    8. 《MEMS传感器的发展及其在煤矿井下的应用研究》PDF+DOC 介绍了微机电系统(MEMS)传感器的发展现状，分析了典型的商用MEMS传感器，针对煤矿井下传感器应用特点，重点阐述并研究了基于MEMS技术的压力、气体传感器在煤矿井下应用的技术性能优势和可行性。最后，对煤矿井下的MEMS传感器的应用趋势进行了展望。...
    9. 《机械故障信息监测MEMS高频加速度传感器》PDF+DOC 结合机械故障信息监测的需求，将微机电系统(micro electro-mechanical system，简称MEMS)传感器技术引入到机械装备的振动测量中，介绍了压阻式MEMS加速度传感器的检测原理、结构设计、微加工工艺及其关键技术。以“小变形-大应力”为敏感结构设计思路，研制了梁膜结构、孔缝双桥......
    10. 《基于CC2541和LIS3DSH的计步器设计》PDF+DOC 设计了一种基于蓝牙低能耗(BLE)CC2541和微机电系统(MEMS)加速度传感器LIS3DSH的计步器，包括运动检测、数据处理和数据传输。数字输出加速度传感器LIS3DSH作为运动检测模块，检测人体运动时加速度变化；CC2541片载系统(SoC)作为核心处理器，对加速度信息进行处理，实现计步功能和......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。