作者：童筱钧,王心语 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2014年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2014050130 DOC编号：DOCYDSG2014050139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 乐甫(Love)波其质点振动方向垂直于传播方向，同时又平行于基片表面，在基片法线方向上无振动分量。因此当基于Love波的电子器件在接触液体时Love波能量损耗很少，因而乐甫波声表面波(SAW)传感器主要用于液相检测。在石英上表面及在其上面淀积的SiO2薄膜中激发、传播的乐甫波对SiO2薄膜质量的变化很敏感，因此该文研究了基于乐甫波的湿度传感器感知气体环境的湿度含量。该文乐甫波湿度传感器采用42.75&#176；Y-旋转切割石英基片，传播方向为[0&#176；，132.75&#176；，90&#176；]。吸湿膜采用APCVD制作的多孔SiO2薄膜，此类膜比PECVD制作的SiO2膜疏松，吸湿、脱湿迅速。传感器灵敏度为62kHz/%RH，最大湿滞约3%，测得的湿敏特性、迟滞特性表明，Love波SAW湿度传感器线性度较好，实验验证了该结构具有很好的气体测试前景。

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