作者：朱鹏飞,马炳和,姜澄宇,邓进军,王云龙 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2014年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2014090160 DOC编号：DOCCGQJ2014090169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 驱动电流是热敏式剪应力微传感器的一个重要参数。增大驱动电流可以提高传感器的灵敏度，但传感器的安全工作温度又限制了驱动电流的增大。研究了如何基于驱动电流来最大程度地提高传感器灵敏度。从理论上分析了传感器灵敏度随剪应力输入的变化规律。通过静水中的I-V特性测试实验，确定了传感器在水下工作的最大允许驱动电流。通过电压—剪应力特性测试实验，验证了传感器灵敏度与驱动电流的关系，得到了传感器在最大允许驱动电流激励下的灵敏度。研究，发现最大允许驱动电流可以使传感器在剪应力为0.2Pa时的灵敏度达到23.8mV/Pa。

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