作者：李学瑞,武文革,成云平,李琦 单位：辽宁省机械研究院 出版：《机械设计与制造》2014年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJSYZ2014030440 DOC编号：DOCJSYZ2014030449 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了一种康铜薄膜传感器模型，该模型由硬质合金基体、硬质合金弹性膜片、Al2O3薄膜及康铜薄膜电阻栅构成，为了获得较好的输出电压，康铜薄膜电阻栅与导线连接组成惠斯通电桥。使用有限元分析软件ANSYS对该模型进行了仿真分析，通过改变弹性膜片厚度与所受载荷大小，来比较传感器的不同输出电压，分析结果表明：电阻栅置于弹性膜片最大变形处即中心处，传感器输出灵敏度较高；在相同条件下传感器的输出电压随载荷增加而增加，随着弹性膜片厚度的减小而增大，变化近似呈线性关系。

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