《静力水准传感器中厚膜陶瓷电容传感器的研制》PDF+DOC
作者:何晓业,汪鹏,许少峰,王巍
单位:教育部科技发展中心
出版:《中国科技论文》2014年第01期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZKZX2014010090
DOC编号:DOCZKZX2014010099
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为研制可用于粒子加速器等大科学工程的高精度静力水准传感器,结合国内电容微位移测量技术,完成厚膜陶瓷电容的结构设计。针对参数设计,采用正交实验法和Ansoft Maxwell有限元仿真软件的优化方法,完成了电容传感器的制备及样机的测试。测试实验结果表明传感器具有2.608 5%的线性度。
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