作者：江小峰,林春,谢海鹤,颜黄苹,张建城,黄元庆 单位：中国光学学会;中国科学院西安光学精密机械研究所 出版：《光子学报》2014年第10期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGZXB2014100310 DOC编号：DOCGZXB2014100319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了在强电磁干扰、高温、高压等恶劣环境下实现压力的测量，进一步提高传感器的小型化并降低其制作成本，提出并设计了一种基于白光干涉解调的光纤法布里-珀罗压力传感器，实现了传感器的压力测量.基于微机电系统技术，采用光刻、阳极键合以及化学腐蚀的方法制作了以硅和玻璃构成的法布里-珀罗腔体，使用二氧化碳激光器对法布里-珀罗腔体与光纤进行焊接.基于白光干涉解调技术，利用斐索干涉仪与法布里-珀罗腔体的互相关关系对传感器进行了解调，并做了压力实验.实验结果表明：传感器在120~300kPa范围内具有较高的腔长变化灵敏度和线性度，分别为9.012 7nm/kPa和99.9%；传感器分辨率为0.1nm，重复性为0.1%.研究成果对低成本、高一致性光纤F-P传感器的批量制作具有一定的参考价值。

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