作者：崔云先,郭立明,盛晓幸,丁万昱,安阳,赵家慧 单位：国家仪表功能材料工程技术研究中心;重庆仪表材料研究所;中国仪器仪表学会仪表材料学会 出版：《功能材料》2014年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCL2014070290 DOC编号：DOCGNCL2014070299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《内燃机活塞表面瞬态温度传感器的研制》PDF+DOC2015年第09期 崔云先,赵家慧,刘友,丁万昱,盛晓幸,宫刻 《薄膜热电偶测温螺钉传感器的研制》PDF+DOC2015年第02期 崔云先,盛晓幸,刘友,丁万昱,赵家慧,安阳 《基于镍基合金薄膜的热电偶传感器研制》PDF+DOC2020年第02期 顾宝龙,赵振平,陈浩远,潘威,张志强 《C/SiC复合材料表面高温瞬态温度传感器的研究》PDF+DOC2019年第03期 崔云先,杨琮,薛生俊,殷俊伟,杜鹏 《薄膜瞬态温度传感器的制备及性能研究》PDF+DOC2017年第12期 崔云先,薛帅毅,周通,李东明,牟瑜 《薄膜热电偶的动态校准及辨识建模》PDF+DOC1999年第03期 马勤弟,雷敏 《薄膜热电偶动态建模方法》PDF+DOC2004年第01期 郭毓,胡维礼,叶小娟,马勤弟 《国外航空发动机薄膜热电偶技术发展研究》PDF+DOC2011年第06期 黄春峰,蒋明夫,毛茂华 《NiCr/NiSi薄膜热电偶传感器的研制及有限元模拟》PDF+DOC2008年第09期 朱亚民,张军,崔云先,孙奉道 《新型薄膜切削温度传感器动态特性的理论计算》PDF+DOC2007年第02期 曾祥森,崔云先,张志军,孙宝元

    • 制备绝缘性能良好的Al2O3薄膜是研制薄膜热电偶瞬态温度传感器的关键技术之一。针对直流脉冲磁控溅射制备的Al2O3绝缘薄膜总是存在针孔等缺陷，提出了利用直流脉冲磁控溅射加射频偏压技术成功制备了薄膜热电偶瞬态温度测试传感器的Al2O3绝缘薄膜。通过台阶仪、高阻计、扫描电子显微镜和划痕试验仪对Al2O3绝缘膜的成膜厚度、绝缘性、表面形貌及膜基结合力进行了观测，结果表明，制备的Al2O3绝缘膜厚度可达2.4μm；其绝缘性可达2.6&#215；109Ω；薄膜表面光滑，成膜均匀；Al∶O原子比近似为2∶3；与金属基体的结合力可达12N。提供了一种制备高致密、高绝缘性能Al2O3薄膜的简单有效的方法，为制备瞬态温度传感器提供了技术保障。

    📙 相关资料

    1. 《内燃机活塞表面瞬态温度传感器的研制》PDF+DOC 针对内燃机活塞表面温度变化迅速的特点，研制了一种瞬态温度传感器用于测量活塞表面温度。采用直流脉冲磁控溅射的方法将NiCr薄膜直接溅射沉积在高温烧结后嵌有NiCr、NiSi丝的陶瓷元件端面，NiCr薄膜外侧溅射Si3N4保护膜。传感器外壁选用带螺纹的304不锈钢作为铠装套筒。采用自行研制的薄膜热电偶静......
    2. 《薄膜热电偶测温螺钉传感器的研制》PDF+DOC 针对正常工况下的内燃机活塞表面温度变化迅速的情况，研制了一种便于安装的薄膜热电偶测温螺钉传感器。采用直流脉冲磁控溅射的方法将Ni Cr/Ni Si热电偶薄膜直接溅射沉积在与内燃机活塞同种材料的测温螺钉的端部，热电偶薄膜和测温螺钉之间采用相同的磁控溅射方法制备Al2O3绝缘薄膜，采用自行研制的薄膜热电......
    3. 《基于镍基合金薄膜的热电偶传感器研制》PDF+DOC 研究了一种直接沉积在镍基高温合金上的薄膜热电偶传感器。针对航空发动机高温恶劣环境，设计了传感器的膜层结构，采用磁控溅射技术沉积NiCrAlY薄膜过渡层，以电子束蒸发和射频磁控溅射技术相结合的方法沉积Al_2O_3薄膜绝缘层和保护层，采用直流磁控溅射技术制备Pt10Rh/Pt薄膜敏感层。测试结果表明，......
    4. 《C/SiC复合材料表面高温瞬态温度传感器的研究》PDF+DOC 针对C/SiC复合材料制造的航空发动机热端部件瞬时表面温度监测困难的问题，研究了一种C/SiC复合材料瞬时表面温度测量方法。采用磁控溅射法结合电镀工艺在C/SiC复合材料表面沉积了Ni-Cr-ZrO_2复合过渡层，采用磁控溅射法在Ni-Cr-ZrO_2复合过渡层上依次制备了SiO_2绝缘膜、NiCr......
    5. 《薄膜瞬态温度传感器的制备及性能研究》PDF+DOC 针对普通温度传感器存在响应时间长、无法快速测量瞬态温度以及薄膜热电偶引线困难的技术难题，研制了一种响应速度快、测量精度高、引线方便的薄膜瞬态温度传感器。采用直流脉冲磁控溅射技术，在嵌入Ni Cr-Ni Si平行电极丝的陶瓷基体端面依次沉积Ni Si功能薄膜和Si O2绝缘保护薄膜。利用自行研制的静态......
    6. 《薄膜热电偶的动态校准及辨识建模》PDF+DOC 本文利用脉冲激光对一种薄膜热电偶进行了动态校准实验，采用系统辨识方法，从时域角度建立了薄膜热电偶传感器的动态数学模型，利用所建模型分析传感器的动态特性，给出了传感器的动态性能指标，并为改善其动态特性提供了依据。...
    7. 《薄膜热电偶动态建模方法》PDF+DOC 以薄膜热电偶动态补偿设计为背景，应用离散小波分析方法对实验数据进行了预处理，提出了基于自适应线性神经网络的薄膜热电偶辨识方法，建立了传感器的动态模型，通过试验数据的交叉检验，证明所采用的方法能获得理想的辨识效果。...
    8. 《国外航空发动机薄膜热电偶技术发展研究》PDF+DOC 分析了薄膜热电偶的性能和技术特点，阐述了敏感膜的制作方法、薄膜热电偶工艺方法和质量控制，以及有关新技术的应用与发展。国内外研究结果表明：先进的薄膜热电偶能够承受恶劣的试验环境，是成功解决航空发动机涡轮叶片表面温度测量的理想方法。...
    9. 《NiCr/NiSi薄膜热电偶传感器的研制及有限元模拟》PDF+DOC 采用磁控溅射法，在刀具材料为W18Cr4V高速钢的后刀面上镀制了NiCr/NiSi薄膜热电偶。传感器既能满足切削要求，同时又能够快速采集温度信号，并对其进行了静态和动态标定，实验范围内线性误差为0.56%，时间常数为12.7 ms，响应迅速，满足实验要求。最后用ANSYS对传感器的瞬态响应和温度场分......
    10. 《新型薄膜切削温度传感器动态特性的理论计算》PDF+DOC 针对一种薄膜切削温度传感器建立了新的一维非稳态热传导的模型，通过理论计算，得出传感器的动态响应特性τ=1.199 m s；对薄膜热电偶传感器进行动态标定试验，得出热电偶传感器的时间常数为τ=0.8 m s，证明了该热传导模型的正确性，为薄膜热电偶的进一步研究提供了理论依据。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。