《基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作》PDF+DOC
作者:龙亮,钟少龙,吴亚明
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2014年第05期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2014050180
DOC编号:DOCCGQJ2014050189
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提出了一种基于永磁薄膜的新型MEMS磁传感器,磁传感器由MEMS扭摆、CoNiMnP永磁薄膜和差分检测电容等部分组成。分析了磁传感器的磁敏感原理和电容检测原理,提出了器件的结构参数并对器件进行了模态仿真。利用MEMS加工技术成功制作了MEMS磁传感器样品,并进行了测试。测试结果表明:得到的MEMS磁传感器的电容灵敏度可达到27.7 fF/mT,且具有良好的线性度。根据现有的微小电容检测技术,传感器的磁场分辨率可达到36 nT。
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