《基于SAW器件的狭缝间作用力监测传感器》PDF+DOC
作者:李海宁,丁杰雄,姜忠,付陆元,刘广民
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2014年第01期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2014010030
DOC编号:DOCYBJS2014010039
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于SAW器件的微间隙压力监测传感器》PDF+DOC2017年第05期 王俊,李媛媛,卢文科
《用于狭缝中的SAW应力传感器的设计与制作》PDF+DOC2013年第06期 李海宁,丁杰雄,姜忠,付陆元
《基于TSE G144声表面波传感器的温度测量系统设计》PDF+DOC2015年第09期 陆贵荣,嵇存岗,陈树越
《基于谐振型无源SAW传感器的制造系统热监测通信特性实验研究》PDF+DOC2019年第05期 余文利,邓小雷,王建臣,谢长雄
《数控机床旋转主轴上SAW传感器传输和温度测量特性实验研究》PDF+DOC2019年第04期 余文利,王胜,邓小雷
《差动式SAW精密位移传感器的研究和设计》PDF+DOC1995年第05期 谢进,姚灵
《无源无线SAW传感信号检测原理与实现》PDF+DOC2004年第03期 刘双临,杨进,周志坤,李平,文玉梅
《编码式谐振SAW无源无线温度传感阵列系统》PDF+DOC2003年第06期 李平,文玉梅,刘双临,王军峰,黄尚廉
《与气相色谱仪联用的声表面波传感器》PDF+DOC2009年第S1期 李顺洲,朱佐刚,刘久玲,刘明华,胡玢,何世堂
《SAW传感器后端信号处理电路的设计》PDF+DOC 黄超,荣丽梅,谢光忠
为了测量由两曲面组成的狭缝间的作用力,研究设计了一种基于单端声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)谐振器的接触应力传感器并研究了其制作工艺。首先,围绕曲面狭缝环境,讨论了作用力测量的传感技术方案,并针对不同的力敏结构在COMSOL Multiphysics软件下进行了应力仿真,进而确定了声表面波谐振器和支撑基底的尺寸参数;其次,结合MEMS工艺对单端SAW谐振器的制作工艺进行了研究,并针对狭缝环境提出一种新型SAW器件封装方式。通过对声表面波传感器设计与制作过程的探究,验证了利用声表面波进行狭缝空间应力测量的可行性。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。