作者:李海宁,丁杰雄,姜忠,付陆元,刘广民 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2014年第01期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2014010030 DOC编号:DOCYBJS2014010039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 为了测量由两曲面组成的狭缝间的作用力,研究设计了一种基于单端声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)谐振器的接触应力传感器并研究了其制作工艺。首先,围绕曲面狭缝环境,讨论了作用力测量的传感技术方案,并针对不同的力敏结构在COMSOL Multiphysics软件下进行了应力仿真,进而确定了声表面波谐振器和支撑基底的尺寸参数;其次,结合MEMS工艺对单端SAW谐振器的制作工艺进行了研究,并针对狭缝环境提出一种新型SAW器件封装方式。通过对声表面波传感器设计与制作过程的探究,验证了利用声表面波进行狭缝空间应力测量的可行性。

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