《声表面波微力传感器的研究》PDF+DOC

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4. 《用电路模型分析非周期声表面波叉指换能器》PDF+DOC 本文给出一种电路模型方法，用于计算非周期又指换能器，如抽指加权和色散换能器的静电电荷分布。知道这一电荷分布就可计算出电端导纳参数。此方法中，换能器内的每一电极和间隔被分为若干小的电极，从而组成等周期阵列。每一小电极在电路中表示为一个节点。换能器的电位和电荷分布分别由节点电压及每个节点所具有的电荷给定......
5. 《声表面波环形滤波器》PDF+DOC 本文讨论一种构形新颖的声表面波滤波器，其3分贝带宽为2%，而带外抑制在65分贝以上。这种环形滤波器由四个90&#176；的反射栅组成，它们分布在矩形传播通道的四角。叉指换能器位于相对的两对栅之间。反射栅几乎为理想的窄带反射器，能量从一个换能器反射到另一个换能器。由于输入换能器在两个相反的方向......
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7. 《用于微摩擦测试的微力传感器及其制作》PDF+DOC 微构件表面的摩擦状况和磨损机理与宏观构件有较大的区别，需一种能够测量微米尺度样品摩擦特性的专用仪器。给出了一种新型硅微力传感器的设计原理、结构、制作工艺及其弱信号采集方法。静态性能测试结果表明，传感器最大输出电压2000μV，重复性约为1 3%，灵敏度约为65V/N，分辨率为46μN，总精度为2 3......
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