作者：陈华,郭桂良,阎跃鹏,来强涛,韩荆宇 单位：陕西电子杂志社;陕西省电子技术研究所 出版：《》 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDDJ2018060250 DOC编号：DOCXDDJ2018060259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《ICP刻蚀技术在MEMS中的应用》PDF+DOC2019年第01期 贾萌,杨银,吴圣楠,刘汉伟 《超声波换能器驱动和接收电路的研究》PDF+DOC1998年第04期 翁黎朗,杨立 《低成本MINS/GPS组合导航系统的设计实现》PDF+DOC2009年第09期 刁鹏,谢聂,吴训忠

    • 为了指导高性能MEMS陀螺的驱动电路设计，针对MEMS陀螺器件与外围驱动电路之间存在的“激励电压、静电力、质量块位移、检测电容变化、检测电流、检测电压”五次信号转换进行了详细研究，获得了确切的相位关系，建立传输函数模型。最终根据推得的总体相位关系，设计并实现了一款基于锁相技术的闭环驱动电路。测试结果表明，MEMS陀螺系统能在3s内可靠起振且无振铃，稳定振荡频率为10.33 kHz，稳定振荡幅度为2.05 V。该测试结果验证了此相位关系研究的必要性与正确性，此研究同样适用于其他静电驱动、电容检测式MEMS传感器。

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