作者：余建平,张玉良,周兆忠 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2015年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2015050040 DOC编号：DOCYBJS2015050049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种能够同时实现z-向压力与x-y向剪切力测量的新型三维柔性电容触觉传感阵列，采用浮动电极式的传感阵列结构设计，分别制作了基于FPCB的感应电极层和基于PDMS的浮动电极层，将脆弱的接口电路加工在底部的感应电极层上，大幅提高传感阵列的挠曲刚度。所设计的柔性电容触觉传感阵列在x-y和z-方向上的理论灵敏度分别为1.0%/m N和0.8%/m N。

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