作者：于娜,刘志远,赵佳龙 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2014年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2014100050 DOC编号：DOCCGQJ2014100059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 半导体元件参数随温度变化而产生的温度漂移，将导致倾角传感器本身存在测量偏差，影响倾角测量的准确度。介绍了一种温度补偿方法，对基于加速度原理的差分电容式倾角传感器进行了温度补偿。经过试验验证结果表明：这种方法能够实现倾角传感器的温度补偿，在-55~85℃温度范围内可将倾角传感器的温漂降低1个数量级，有效地减少了环境温度对倾角传感器性能的影响。

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