作者：王宾,李孟委,吴倩楠,耿浩,王高 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2018年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2018040020 DOC编号：DOCYBJS2018040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对现有光栅位移传感器分辨率和精度难以提高、体积较大的难题，设计了面内和离面位移检测的双层纳米级光栅结构。用严格耦合波理论分析了单层纳米光栅的衍射特性，通过Gsolver软件对面内和离面的双层纳米光栅结构进行模拟仿真。仿真结果表明：这2种双层纳米光栅结构的0级透射光和反射光的衍射效率随第二层纳米光栅结构的位移移动量周期性变化，通过探测纳米光栅的衍射效率来获得面内或者离面的位移移动量。

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