作者：邓芳明,何怡刚,佐磊,李兵,吴可汗 单位：中国物理学会 出版：《》 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWLXB2014180580 DOC编号：DOCWLXB2014180589 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于无源RFID的集成加速度传感器设计》PDF+DOC2015年第03期 刘茂旭,何怡刚,邓芳明,陈欢,李得民 《一种适用无源RFID的集成加速度传感器设计》PDF+DOC2015年第10期 陈宏,邓芳明,何怡刚,吴翔 《无源超高频射频识别标签中嵌入式温度传感器设计》PDF+DOC2011年第05期 刘伟峰,庄奕琪,齐增卫,唐龙飞 《低功耗全数字电容式传感器接口电路设计》PDF+DOC2014年第05期 邓芳明,何怡刚,张朝龙,冯伟,吴可汗 《无源RFID的集成电容式传感器接口电路设计》PDF+DOC2015年第11期 陈宏,邓芳明,吴翔 《无源无线传感器平台在人体跑步检测中的应用》PDF+DOC2014年第12期 仇逊超,曹军 《基于无源超高频RFID温度标签的温度监测系统》PDF+DOC2017年第01期 司禹,冯鹏,于双铭,吴南健 《基于聚酰亚胺的电容式湿度传感元件的研制》PDF+DOC2009年第04期 周文和,刘倩,王良璧,任学昌,王良辰,常青 《一种带湿敏元件的射频识别标签》PDF+DOC2013年第04期 霍灵瑜,刘丙午,田志勇 《集成温度传感器的无源超高频标签芯片设计》PDF+DOC2013年第01期 刘伟峰,庄奕琪,齐增卫,唐龙飞,杜永乾

    • 针对无源超高频射频识别传感器标签大规模运用的需求，采用中芯国际0.35μm互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺设计并制造了一种低成本、低功耗的湿度传感器.湿度传感器单元采用聚酰亚胺作为感湿材料，利用顶层金属层制作叉指结构电极，制造过程与标准CMOS制造工序兼容，无需任何后处理工艺.接口电路部分基于锁相环原理，采用全数字电容.数字直接转换结构，能够工作在接近工艺阈值电压下.后期测试结果显示，该湿度传感器在常温下灵敏度为36.5 fF%RH，最大回滞偏差为7%，响应时间为20 ms，0.6 V电源电压下消耗2.1μW功率。

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