作者:刘彬,陶俊勇,张云安,陈循,王晓晶 单位:中国机械工程学会 出版:《机械工程学报》2014年第24期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJXXB2014240160 DOC编号:DOCJXXB2014240169 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于多孔硅牺牲层技术的压阻式加速度传感器的分析和设计(英文)》PDF+DOC2003年第07期 周俊,王晓红,姚朋军,董良,刘理天 《MEMS固态引信硅微结构的力学分析与设计》PDF+DOC2000年第S1期 金磊,高世桥,李文杰 《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC1999年第01期 徐毓龙,徐玉成 《一种用于集成化传感器的多晶硅的微机械加工新技术》PDF+DOC1988年第03期 R.T.Howe,黄嘉华 《单片集成MEMS技术》PDF+DOC2005年第03期 江建明,娄利飞,汪家友,杨银堂 《阵列式MEMS仿生矢量振动传感器研究》PDF+DOC2012年第09期 刘林仙,张国军,许姣,张慧,李振,张文栋 《高g值加速度环境微结构动态特性》PDF+DOC2010年第16期 王涛,王晓东,王立鼎 《纤毛式MEMS矢量水声传感器的仿生组装》PDF+DOC2009年第03期 张国军,陈尚,薛晨阳,张斌珍,张开瑞 《用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉传感器的性能测试》PDF+DOC2008年第01期 李源,邵力,栗大超,胡小唐,赵大博 《横向负载下三维微触觉传感器的力学模型》PDF+DOC2007年第01期 李源,栗大超,胡小唐,赵大博,傅星
  • 硅基微机电系统中的单晶硅微结构常工作于循环加载状态,易发生疲劳失效。单晶硅微结构疲劳寿命的分散度较大,难以根据不同掺磷浓度试样的疲劳寿命测试数据对比分析出杂质磷对单晶硅微梁弯曲疲劳特性的影响规律,针对此问题进行研究。设计一种弯曲测试结构,该结构可同时对四根微梁进行疲劳测试;设计一种简易的弯曲测试装置,该装置在满足测试精度的同时有效地控制了成本。用各向异性湿法工艺制备6组不同掺磷浓度的试样,并在常温空气环境中对试样进行弯曲疲劳测试。基于Paris公式建立一种微结构疲劳寿命预测的概率模型,用模型对测试数据进行拟合计算,得到材料常数C和n。C随掺磷浓度降低近3个量级,而n增量较小,表明C的变化占主导。所以疲劳裂纹扩展速率有随掺磷浓度增高而降低,这可为硅基微机电系统的疲劳可靠性设计提供有价值的参考。

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