作者：刘嘉滨,沈学浩,王晓玲 单位：上海交通大学 出版：《》 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSYSY2014120140 DOC编号：DOCSYSY2014120149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在有限的教学经费及传统真空镀膜设备不报废的条件下，结合实际实验教学需要，对设备进行针对性的改造，使其能最大化使用。DM-240型真空镀膜机的扩散泵采用的是水冷却系统，但在实验结束过程中，需要人工判断扩散泵是否冷却，然后进行设备与水路系统的关闭操作，并且该过程占据相当的实验时间，影响到实验教学质量。针对扩散泵冷却控制系统进行温控自动化改造，利用温度控制和阀门控制设备，实现对扩散泵冷却系统温度的监控，并可自动关闭水冷却系统与机组设备，做到无人值守。不仅为实验教学提供了充足的实验时间，也可有效地避免因误操作而造成对设备的损坏。

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