作者：沈岩柏,张宝庆,曹先敏,魏德洲,刘文刚,高淑玲 单位：中国有色金属学会 出版：《中国有色金属学报》2015年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZYXZ2015030260 DOC编号：DOCZYXZ2015030269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用直流反应磁控溅射法，在不同的基片温度条件下制备出具有不同微观结构的WO3薄膜，探讨这些薄膜作为气敏材料对NO2气体的气敏特性。WO3薄膜的晶体结构、表面及断面形貌分别采用X射线衍射和扫描电子显微镜进行表征。结果表明：随着基片温度的升高，具有单斜晶WO3结构薄膜的(200)衍射峰强度逐渐增强，薄膜由低基片温度(-75℃)的纳米粉体、过渡到中间基片温度(-50~300℃)的纳米薄膜、直至高基片温度(500℃)的纳米棒组成。所有WO3薄膜均在200℃的工作温度下获得对NO2气体的最大灵敏度。在相同的检测条件下，气体灵敏度随着基片温度的减小和NO2气体浓度(体积分数)的增加而增大。

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