作者：王艳萍,王茜蒨,马冲 单位：中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所 出版：《中国激光》2015年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJJZZ2015010330 DOC编号：DOCJJZZ2015010339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在介绍哈特曼波前分析仪工作原理的基础上，分析了哈特曼探测器微孔阵列面与CCD面间距LH参数校准的必要性，提出并讨论了用已知斜率的平面波校准LH参数，并将平面波斜率值精确溯源至点光源位移量的校准方法。依据此校准方法，实际校准了一台哈特曼波前分析仪，给出了LH参数的校准值。用校准过的哈特曼波前分析仪测量了三种不同曲率半径的球面波前，与软件构造的相同曲率半径的理想球面波前作比较，波前测量精度达λ/35，波前像差PV值达λ/7。该实验结果表明，哈特曼波前分析仪校准结果是准确的，校准方法是有效可行的。

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