《NiCrAlY薄膜应变计的研制》PDF+DOC
作者:张洁,杨晓东,蒋书文,蒋洪川,赵晓辉,张万里
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2015年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2015040310
DOC编号:DOCCGQJ2015040319
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采用射频磁控溅射法在Ni基高温合金拉伸件上制备Ni Cr Al Y薄膜应变计。研究了热稳定处理对Ni Cr Al Y薄膜结构、表面形貌的影响,并且测试了Ni Cr Al Y薄膜应变计的电学与应变性能。结果表明:热稳定处理后Ni Cr Al Y薄膜应变计由于在表面形成了一层Al2O3膜,具有抗高温氧化的特性,在室温~800℃范围内,应变计电阻同温度呈线性变化,电阻温度系数(TCR)约为290×;10-6/℃,室温下的应变计系数(GF)为2.1。
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