作者：李欣,余建平,卢科青 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2018年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2018110130 DOC编号：DOCCGJS2018110139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了一种基于混合频率激励的三自由度柔性电容触觉传感阵列。每个传感单元中由传感电极层上的四片传感电极和公共电极层上的一片公共电极构成4个电容传感子单元，当4个电容传感子单元按正方形排列时，所测得的接触力将被分解为一组正向压力和两组剪切力分量。信号采样采用混合频率激励的方法替代单频激励，四片传感电极分为激励端和输出端，激励端加载频率分别为f_1和f_2的两组电压信号U_(i1)和U_(i2)，输出端的两组信号通过带通滤波器可提取4组谐波分量，从而实现4个电容传感子单元的电容量测量。该方法简化了信号采样机构，有效实现多维触觉信息的同步检测与分离。每个传感单元在z轴方向的正向压力测试灵敏度为0.17%/mN，x-y轴方向的灵敏度为0.43%/mN。结果表明该触觉传感阵列是一种有价值的可实现低成本触觉传感的新型测量装置。

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