作者：陶永康,刘云峰,董景新 单位：中国兵工学会 出版：《兵工学报》2014年第11期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBIGO2014110180 DOC编号：DOCBIGO2014110189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对特殊场合的高g值加速度测试需求，提出了一种叉齿电容式高量程微机械加速度计的结构形式，采用面内敏感的变面积差动电容变化方式，并针对传感器固有频率、横向效应、量程和加速度灵敏度进行了设计分析。仿真结果表明：该加速度计量程200 000 g，固有频率266.2 k Hz，模态分离比大于2.5，0~10 k Hz通频带内加速度分辨率优于60 g.基于硅-玻璃微机械工艺进行了加速度计微结构的流片加工、镜检测试和传感器的初步冲击实验验证。相比已有的高量程微机械加速度计，该设计具有线性度好、横向效应小、加速度灵敏度高和抗高过载能力强等特点。

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