《压阻式高固有频率Z轴加速度敏感结构》PDF+DOC
作者:揣荣岩,代全,王健,梁峭,衣畅
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2015年第09期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2015090020
DOC编号:DOCYBJS2015090029
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基于微机电系统(MEMS)技术的加速度传感器因其性价比高、易于集成化而得到广泛应用,但在普通MEMS加速度敏感结构中仍然存在灵敏度和固有频率相互制约的弱点。为此,文中优化设计了一种压阻式新型加速度敏感结构,该结构在弹性梁加质量块的基本结构上引入了敏感微梁,在保证高灵敏度的同时,显著提高了固有频率。其灵敏度与固有频率的乘积可比普通MEMS加速度计提高25倍以上。
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