《MEMS微加速度计在振动环境下的可靠性研究》PDF+DOC
作者:杨江涛,马喜宏,邬琦
单位:东南大学
出版:《电子器件》2015年第02期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZQJ2015020340
DOC编号:DOCDZQJ2015020349
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由于微加速度计的可靠性成为其产品商业化过程中的一个重要问题,而冲击断裂是导致其性能失效的主要原因。主要研究了压阻式微加速度计在振动环境下的可靠性问题。设计了微加速度计在振动环境下的可靠性试验并通过ANSYS进行仿真。经过分析得出微加速度计在振动环境下的主要失效模式,并进行了相应的失效机理分析。通过可靠性实验进行了验证,对微加速度计在振动环境下的可靠性进行评估,并描绘了其可靠度与失效概率曲线。
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