作者:翟珊,顾昌林,冯吉军,卢红亮 单位:中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所 出版:《计测技术》2018年第01期 页数:8页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHKJC2018010020 DOC编号:DOCHKJC2018010029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 近年来随着传感器在生物探测领域的应用,提高传感器芯片的灵敏度成为研究的热点。利用氮化硅微腔灵敏度高、成本低、易于集成的优点,设计制造了1550 nm波长下二维、三维结构品质因子分别为1.6×104和4×103的悬空耦合传感器芯片,并详细研究了集成氮化硅微腔光学传感芯片在折射率测量方面的应用。

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