作者：王雁,刘梦然,张国军 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2017年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2017020230 DOC编号：DOCYDSG2017020239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对微机电系统(MEMS)仿生矢量水听器工作频带窄，灵敏度低，且存在左、右舷模糊问题，设计了高灵敏宽频带复合式MEMS水听器。矢量部分选择4个不同纤毛长度的仿生矢量水听器组成阵列，各结构间采用并联方式，工作频带拓宽到4 800Hz，并分割出4个不同的频率段，在拓宽了频响带宽的同时保证了灵敏度。标量部分采用低频电容水声传感器进行优化设计，空腔注满硅油、振膜开设声学孔，提高振膜承压性的同时保证了良好的动态性能。后续对标量和矢量信息进行声能流联合算法处理，解决了左右舷模糊的难题。该文主要介绍了复合式MEMS水听器的工作原理，结合ANSYS workbench进行了仿真验证。选用玻璃片及绝缘衬底上的硅(SOI)片键合的单片集成复合结构工艺设计，在玻璃上定义空腔及下电极，在SOI片上定义十字梁和振膜，整体结构一致性好，定位精度高。

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