作者： 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2014年第11期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2014110180 DOC编号：DOCCGSJ2014110189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • Aerotech推出的高精度、开放式框架、热稳定性好振镜可用于各种激光加工和刻蚀应用。这款新型Nmark AGV-HPO扫描振镜在视野范围内可达到几个数字位、微米级的精度，如果与Aerotech的Nmark CLS扫描器配合使用，则能够提供超过24位分辨率的业界领先精度。AGV-HPO位置传感器具有极低的热增益漂移性能，从而在需要长时间才能完成的复杂、高密度激光

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