作者：张萌,孙永娇,位子涵,胡杰 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2016年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2016110020 DOC编号：DOCBDTQ2016110029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用水热法合成了氧化铟(In_2O_3)微球结构。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征分析In_2O_3样品的晶相、元素种类和微观形貌。测试结果表明：合成的In_2O_3为空心的微球结构，且其平均直径约1μm。同时，制备了基于In_2O_3的气体传感器，并对异丙醇的气敏特性进行研究。实验结果表明：在最佳工作温度(300℃)条件下，该气体传感器对体积分数为10-4异丙醇气体的响应可达10.3，响应时间和恢复时间分别为2 s和7 s，且最低检测极限为5&#215；10-7。最后，讨论了In_2O_3材料对异丙醇的气敏机理。

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