作者：赵东杰,刘军,丁庆行 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2017年第11期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2017110040 DOC编号：DOCCGJS2017110049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为降低FAIMS传感器制作的复杂度与成本，设计了一种基于PTFE基板的FAIMS传感器。该传感器由漂移管、离子源及外围电路组成。其中漂移管基于PTFE基板构建，使用PCB工艺制备Au电极，利用厚度为0.4 mm氧化铝条作为绝缘支撑片将上下电极隔离并形成通道，用于离子分离与检测，漂移管的总体积1.9 cm3。离子源通过针-网式电晕放电建立，通过软焊接工艺连接到FAIMS上基板。外围电路包括FAIMS工作所需的高频高压非对称电场及补偿电场产生电路和微弱离子电流放大电路。常温下，传感器响应恢复时间小于3 s。利用化学战剂模拟剂甲基膦酸二甲酯DMMP(Dimethyl Methylphosphonate)测试了传感器的灵敏度，实现了0.5μg/m3的量级DMMP样品的检测。

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