作者：张琪昌,周凡森,王炜 单位：中国振动工程学会;上海交通大学;上海市振动工程学会 出版：《振动与冲击》2015年第17期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDCJ2015170220 DOC编号：DOCZDCJ2015170229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种静电驱动微机械谐振传感器的接口电路及应用》PDF+DOC2015年第05期 孟瑞丽,刘恒,张宏群 《曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计》PDF+DOC2003年第02期 董健,李昕欣,王跃林,张鲲,宋朝晖 《参数激励下静电驱动MEMS共振传感器的非线性动力特性研究》PDF+DOC2009年第01期 张文明,孟光,周健斌,陈杰宇 《静电激励硅微机械谐振压力传感器设计》PDF+DOC2014年第01期 任森,苑伟政,邓进军,孙小东 《一种微机械谐振传感器的频率读出及分析方法》PDF+DOC2013年第07期 刘恒,孙冬娇 《一种新型硅微机械粘滞型谐振真空计》PDF+DOC1997年第03期 王亚强,金仲和,王跃林,丁纯 《微型静电悬浮Z向加速度计的计算机模拟》PDF+DOC1996年第03期 李宝清,陆德仁,熊斌,卢平芳,何国鸿,鲍敏杭,王渭源 《光激光拾自谐振传感器的光学特性及优化设计》PDF+DOC2002年第01期 李炳乾,朱长纯,刘君华 《用于液相检测的微机械扭摆谐振器》PDF+DOC2009年第S1期 李翔,陈德勇,王军波 《一种微机械加速度计的自检测特性研究》PDF+DOC2008年第03期 陈伟平,韩天,赵振刚,刘晓为,孙立宁,曹伽牧

    • 静电驱动微机械谐振器由于其高频率、低功耗和小型化被广泛应用于工作在空气中和液体中的化学传感器和生物物种传感器中。对于微机械谐振器，作为表面效应的空气阻尼以及三次非线性静电刚度会显著影响器件的动态响应特性。通过压膜阻尼理论，探究了双端固支梁在自由振动过程中由于环境压力引起的空气阻尼和三次非线性静电刚度对微梁的运动形态、谐振响应等性能参数的影响，发现了双极板微谐振器振动特性与环境压力以及立方非线性静电刚度的关系。结果表明：环境压力的增加会使微机械谐振器的共振频率增加，振动的幅值以及共振漂移的幅度减小。微机械谐振器在小位移振动时，通过对幅频曲线的分析发现，三次非线性静电刚度会使微机械谐振器表现出或软或硬的非线性特性且不可忽略。

    📙 相关资料

    1. 《一种静电驱动微机械谐振传感器的接口电路及应用》PDF+DOC 针对静电驱动微机械谐振传感器接口动态电容的测量，文中介绍了一种读取接口电路，采用了高频方波对振动信号进行调制，模拟开关进行解调。以静电驱动的某真空封装微机械振动双框架陀螺为例，接口电路实验测试得到的波形与设计预期一致，并利用接口电路和频率扫描方法成功测得微机械振动陀螺驱动模态谐振频率为13.552 ......
    2. 《曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计》PDF+DOC 给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型 ，此传感器为整体式悬臂梁结构 ，采用硅微机械加工技术制作 ，便于封装和大批量低成本制造。其敏感方向在硅片平面内 ，两个压敏电阻分布在悬臂梁的顶端 ，两个完全相同的悬臂梁沿相反方向分布 ，四个压敏电阻构成惠斯通全桥连接 ；悬臂梁的过......
    3. 《参数激励下静电驱动MEMS共振传感器的非线性动力特性研究》PDF+DOC 静电驱动微机电系统(MEMS)共振传感器因其结构简单、应用广泛等优点引起了研究人员广泛的关注，共振传感器件耦合系统在非线性静电力、压膜阻尼、参数激励下呈现出较复杂的非线性振动、不稳定性、分岔与混沌行为。提出参数激励作用下静电驱动微机电系统中梁式微结构共振传感器的动力学模型，采用多尺度方法对微系统的动......
    4. 《静电激励硅微机械谐振压力传感器设计》PDF+DOC 设计了一种静电激励/电容检测的硅微机械谐振压力传感器，采用改进的侧向动平衡双端固支音叉谐振器，利用基于绝缘体上硅的加工工艺制作。为了抑制压力敏感膜片受压变形时谐振器的高度变化，在谐振器固定端设计了全新的桁架结构。针对传感器检测信号微弱和同频干扰严重的特点，在芯体和接口电路设计中采取添加屏蔽电极、降低......
    5. 《一种微机械谐振传感器的频率读出及分析方法》PDF+DOC 为了对微机械谐振传感器的振动信号频率进行读出及短期稳定度分析，文中以静电驱动的某微机械振动双框架陀螺为例，介绍了频率调制解调的接口信号读取方法，并利用频率计和软件插件对振动频率进行了采样，最后利用Al-lan方差分析了频率的短期稳定性。利用介绍方法测得实验室制作的微机械振动陀螺驱动模态谐振频率为13......
    6. 《一种新型硅微机械粘滞型谐振真空计》PDF+DOC 在对静电激励硅微机械谐振真空传感器研究的基础上，实现了一种新型的粘滞型谐振真空计。并给出了理论分析和实验结果。测试表明，其有效量程为1～1．33&#215；103Pa。...
    7. 《微型静电悬浮Z向加速度计的计算机模拟》PDF+DOC 本工作针对一种新型的电容式力平衡加速度计－微型静电悬浮Ｚ向加速度计进行了计算机模拟。模拟中的Ｚ向加速度计拟采用微机械加工技术在硅片上制作，利用静电悬浮原理平衡质量块，感应加速度并输出信号。计算机模拟分析了加速度计的悬浮特性，稳定特性，响应特性。对Ｃ－Ｆ转换电路的输出特性也进行了分析，该电路可用ＣＭＯ......
    8. 《光激光拾自谐振传感器的光学特性及优化设计》PDF+DOC 建立了光激、光拾自谐振多晶硅微机械传感器的多层膜系模型 ，利用该模型对传感器的光学特性进行了理论分析 ，并对传感器谐振微梁厚度和空腔高度进行了优化...
    9. 《用于液相检测的微机械扭摆谐振器》PDF+DOC 提出了一种在扭转模态工作的微机械谐振器，与传统的弯曲模态相比，扭转模态能量损耗低，故更适用于液相检测。通过理论建模优化了结构；通过加入合适的补偿电路使谐振器在液体中的Q值达到500；此传感器包含检测扭摆和参比扭摆，对两个摆在闭环下的频率变化进行记录，对两者差分可有效抵消由于温度漂移及非特异性吸附等引......
    10. 《一种微机械加速度计的自检测特性研究》PDF+DOC 采用静电力驱动质量块产生等效加速度信号实现了微机械加速度计的自检测功能。分析了平板驱动电极的静电驱动力、吸合电压以及稳定驱动位移条件。采用光学测试技术测试了驱动电压和驱动位移的关系，吸合电压，证实了理论分析。利用理论分析公式计算了低驱动电压情况下的驱动位移。结果表明在10～15V的直流驱动电压下能产......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。