作者：魏凯,王伟峰,范文超,陈兴林 单位：中国自动化学会;黑龙江省自动化学会;黑龙江省科学院自动化研究所 出版：《自动化技术与应用》2015年第07期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDHJ2015070080 DOC编号：DOCZDHJ2015070089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在分析了光刻机掩膜台微动台(简称微动台)结构的基础上，对微动台的六自由度运动进行了几何解耦，将其分解为两个三自由度上的解耦，并从实际系统的角度出发完成了解耦计算。最后针对微动音圈电机位置控制，提出了基于线性扩张状态观测器的增量式PID控制，并取得了良好的控制效果。

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