作者:陈桂,谢晓,王文,何世堂 单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版:《压电与声光》2015年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYDSG2015020020 DOC编号:DOCYDSG2015020029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 研究了基于ST-90°X石英基片和SU-8波导层的乐甫波器件的温度特性。采用电极宽度控制单向单相(EWC/SPUDT)结构和铝电极,设计制作了具有单一模式控制功能和低插入损耗的150 MHz剪切型声表面波(SH-SAW)延迟线器件,并在其表面涂覆不同膜厚的SU-8声波导层构成系列乐甫波器件。由于SU-8波导层与石英基片温度系数的相反极性特性,SU-8膜厚直接影响到了乐甫波器件的温度特性。实验发现,覆盖不同膜厚的SU-8的乐甫波器件的中心频率随温度呈非线性变化,且在60~80℃内,SU-8膜厚为0.95μm时,其频率温度系数约为0.830×10-6/℃。

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