《乐甫波器件温度特性实验研究》PDF+DOC
作者:陈桂,谢晓,王文,何世堂
单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所
出版:《压电与声光》2015年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYDSG2015020020
DOC编号:DOCYDSG2015020029
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《湿度传感器的温度、湿度校正》PDF+DOC1995年第05期 张延生,孙涌
《多晶硅压阻式压力传感器》PDF+DOC1988年第04期 毛干如,朱秀文,谢页飞,石争
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《GFD-08型单模光纤定向耦合器》PDF+DOC1987年第01期 鲍鸿昌,张驿,郑美莉
《静磁波器件》PDF+DOC1983年第03期 J.D.亚当,田桂琴
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研究了基于ST-90°;X石英基片和SU-8波导层的乐甫波器件的温度特性。采用电极宽度控制单向单相(EWC/SPUDT)结构和铝电极,设计制作了具有单一模式控制功能和低插入损耗的150 MHz剪切型声表面波(SH-SAW)延迟线器件,并在其表面涂覆不同膜厚的SU-8声波导层构成系列乐甫波器件。由于SU-8波导层与石英基片温度系数的相反极性特性,SU-8膜厚直接影响到了乐甫波器件的温度特性。实验发现,覆盖不同膜厚的SU-8的乐甫波器件的中心频率随温度呈非线性变化,且在60~80℃内,SU-8膜厚为0.95μm时,其频率温度系数约为0.830×;10-6/℃。
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